【仪器名称】：台阶仪（Profile-system）

【设备型号】：Dektak XT

【设备厂商】：美国Bruker

【仪器详情】：

台阶仪是一种将曲率半径很小的探针和样品表面进行接触，移动探针，测量接触力量的变化，调整探针的高度，从而得到样品的表面形貌。通过该测试，可以得到探针移动路径上样品的表面起伏数据，从而分析出样品的表面粗糙度、翘曲程度等信息。

美国Bruker公司的Dektak XT系列台阶仪具有创新性的设计，可以提供无与伦比的重现性，重现性低于5Å。通过整合行业领先产品，Dektak XT实现了最高性能，操作简易，从研发到质量控制都有更好的过程控制，能够在微电子，半导体，太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。

【主要特点】：

● 台阶高度重复性5Å；

● Single-arch设计大大提高扫描稳定性；

● 新的硬件配置，降低了噪音对测量的干扰，数据采集能力提高了40%；

● 64-bit，Vision64操作流程简便易行，同步数据处理软件，数据分析速度提高十倍；

● 针尖自动校准系统。

【技术参数】：

● 扫描长度： 50µm-55mm

● 垂直测量范围： 1mm

● 台阶高度重现性5Å, 1σ 在1µm台阶上

● 垂直分辨率：最大1Å（6.5µm范围）

● 探针压力：1－15mg 最小可达0.03mg

● 探针曲率半径：0.2 um ，2um

● 超细探针：50nm

● 样品台尺寸：4英寸，6英寸，8英寸

● 可通过软件设置进行连续的多次扫描分析，最大次数大于10次

● 单次扫描最大采样点数不小于100,000

● 具备薄膜应力测量功能

● 可进行多点测量比较，提供多个数据的平均和标准偏差

● 载物台可水平移动，在x方向和y方向的行程不小于50mm×20mm

● 光学系统：放大倍率不小于100倍，可通过摄像头观察到探针与样品表面

● 软件系统：提供专用的台阶测试软件、分析软件（包括应力分析）并终身免费升级，分析软件可免费安装在其他电脑上进行数据分析

【应用领域】：

设备广泛应用于：触摸屏、半导体、太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学、高校、研究所、微电子、金属等行业实现纳米级表面形貌测量

● 台阶轮廓扫描

● 表面粗糙度扫描

● 样品翘曲度测量