【仪器名称】:霍尔效应测试仪(Hall Effect Measurement)
【设备型号】:HMS-5300
【设备厂商】:韩国ECOPIA
【仪器详情】:
霍尔效应测试仪主要用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数、导电类型等重要参数,是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性的必备工具。
HMS-5300霍尔效应测试仪主要由恒电流源、范德堡法则终端转换器、常温测量系统、低温(80K~常温)测量系统、高温(常温~573K)测量系统及固定磁场强度输入系统组成,拥有研究半导体材料霍尔效应所有的部件和配置,测试速度快,测量精度高,可重复性好。
【主要特点】:
● 恒电流源(1nA~20mA)采用六级电流范围设置,将可以接收的误差降到最低;范德堡法则转换使用非接触装置有效降低仪器噪声,具有可靠的精度及重现性
● 具有常温、液氮低温、以及高温测量系统(80~573K)
● 恒定磁场(0.556T)
● 具有多种尺寸的传统样品板及带弹簧夹片的样品板(SPCB),使得不同尺寸不同材料的薄膜样品更容易测量
● 测试速率快,可同时测量得到体载流子浓度(Bulk carrier concentration)、表面载流子浓度(Sheet carrier concentration)、迁移率(Mobility)、电阻率(Resistivity)、霍尔系数(Hall coefficient)、磁致电阻(Magnetoresistance)、电阻的纵横比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等参数。
【技术参数】:
● 输入电流:1nA ~ 20mA
● 电阻率:10e -5~ 10e7 Ω.cm
● 载流子浓度:10e7 ~ 10e21 cm-3
● 迁移率:1 ~ 10e7 cm2/(V.s)
● 磁场强度:0.556T
● 样品测量板:弹簧样品板
● 样品尺寸:5mm×5mm ~ 20mm×20mm,适用样品厚度:小于2mm。
● 温度范围:80 K -573K
● 磁体包尺寸:700×220×280 mm (W×H×D) / 15.5Kg
【应用领域】:
设备可广泛应用于半导体器件和半导体材料电学特性表征,精确测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数。
●测量材料:Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, TCO(including ITO), AlZnO, FeCdTe, ZnO等所有半导体薄膜;
●材料导电类型判断(P型和N型)
●材料载流子浓度、迁移率、方块电阻等参数测量
●材料掺杂杂质激活能测量