【仪器名称】:点测机(Prober)
【设备型号】:PG2101
【设备厂商】:台湾 德仪科技
【仪器详情】:
通过图像匹配、识别、定位等过程,获取蓝膜上课识别晶粒的物理位置,同时生成该蓝膜上LED晶粒点测得原理是将大载有大量LED晶粒的待测蓝膜(扩散分离后)放入测试台(wafer)上,经真空吸附固定后,LED晶粒自动点测台的视觉系统对蓝膜上的LED晶粒进行全片扫描,LED晶粒的逻辑位置图(MAP),根据LED晶粒的物理位置,控制待测的晶粒移动到测针下,使LED晶粒的两极与测针接触,提供测试回路;同时将逻辑位置发送给LED晶粒测试仪,实现自动测试,并将测试结果保存到用于管理测试资料的数据库系统中。
【主要特点】:
● 适合正装结构、倒装结构以及垂直结构的LED芯片;
● 最大适用8英寸晶圆测试;
● 最大适用功率达160W;
● 适用VF达400V的HV LED芯片;
● 自动调平,自动寻边探测,探针精确定位;
● 快速抽测,实时Mapping图显示。
【技术参数】:
●兼容2”~6” flip chips LED晶圆测试,以及蓝膜扩张在2”~6”的普通GaN LED晶圆测试
●兼容2”~8” 单电极的红黄光晶圆测试,以及2”~8” GaN on Si类型晶圆的测试
●兼容<210mm*210mm尺寸内的COB封装LED测试
●兼容上发光芯片的mcd,mW与lm亮度单位测试,以及flip chips的mcd,mW与lm亮度单位测试
●兼容金电极,以及铝电极等多种类型的LED芯片测试
●CCD扫描功能,提供晶圆扩张后的晶粒定位,以及偏转角<±10°时的自动调平功能;
●自有专利的寻边器探针座,兼容针压达1克的精细调节,优化测试精度与针痕
●抽测功能,以1/4,1/9,1/16等比例对LED芯片做快速抽测,同样输出mapping晶圆图
【应用领域】:
点测机可广泛应用于LED晶圆检测、生物研究、军工行业、科学研究、玻璃行业、宝石研究、光伏产业、特殊光源检测等领域。