【仪器名称】：四探针电阻率测量仪（Four-point Probe Measuring System）

【设备型号】：SB100A/20A

【设备厂商】：上海乾峰

【仪器详情】：

SB100A/20A型四探针电阻率测量仪是由SB118/20型精密电压电流源，PZ158A型直流电压表以及SB120/2四探针样品平台三台仪器构成的。该设备可以对导体/半导体薄膜样品的电阻和电阻率进行测试及研究。由于本设备为组合式构思且带有RS232C接口输出，因此为仪表的多用途以及灵活性提供了方便。

【主要特点】：

●底座：115×160mm长方形的铝合金底。

●支架：安装在底座上，在其上安装有旋动部件和四探针等。

●旋动部件：其由旋钮及齿轮等组成，样品平台安装在其上，可通过调节旋钮使样品平台上下移动。

●样品平台：表面为有机玻璃，面积为94×94mm，安装在旋动部件上的样品平台通过调节支架两边的旋钮可使其上下移动。最大行距为22mm，其上安装的2片弹簧压片可作为压住薄膜样品之用。

●四探针：安装在有机玻璃座上的探针套管内，上下可伸缩6mm的探针，针尖为200μm，四探针间距为3mm。

●接线板：四探针通过连线至接线板上的四个插孔上，其安装在底座的后面，为用户施加电压/电流提供方便。

【技术参数】：

●直流电压源：输出电压范围  0~50V  分20mV、200mV、2V、20V、50V五档，每档输出电压可连续调节，最高分辨力为1µV，基本误差为0.1%。

●直流电流源：输出电流范围  0~200mA  分20µA、200µA、2mA、20mA、200mA五档，每档输出电流可连续调节

●最高分辨力为1nA，基本误差为0.03%。

●可测量0~1000V直流电压  具有200mV、2V、20V、200V、1000V五档量程，最高分辨力为0.1µV，基本误差为0.003%。

●测量范围：10-6-106Ω。

【应用领域】：

设备广泛应用于为导体/半导体的电阻和电阻率测试